製品紹介
真空・低放出ガス対応関連商品
チェンバーやフランジ、ストレート、エルボ、ティーなど真空に関する部品や、フィードスルーフランジ、真空コネクタなどの電気関連品を幅広く取り扱っています。
またお客様の仕様に応じた製品を設計・製作します。 超高真空・高真空チェンバー
真空フランジ、ポート
架台、排気系一式 etc.
直線導入機
ハーメチック フィードスルー
真空対応装置に欠かせない導入端子（ハーメチックフィードスルー）のご紹介
＜ＤＣ＞シリーズ
多極フィードスルーに対応するＤ－ＳＵＢ型ハーメチックです。
Ｏリングタイプと溶接タイプをご用意しています。（上記画像は、溶接タイプのＤ－ＳＵＢ型製品）
＜ＭＣ＞シリーズ
多極フィードスルーに対応するＭＳ丸型ハーメチックです。
Ｏリングタイプと溶接タイプをご用意しています。（上記画像は、ＯリングタイプのＭＳ丸型製品）
＜ＣＣ＞シリーズ
単極（同軸）のフィードスルーは一般的なＢＮＣ型、高電圧対応のＳＨＶ型、コンパクトなＬＥＭＯ型をご用意しています。（上記画像左からBNC型、SHV型、LEMO型）
真空・低放出ガス対応位置決めテーブル
元々はクリーンな環境（アウトガスを嫌う場所）で使用するために開発された製品です。
・真空チャンバーの中で簡単に動かすステージが欲しい
・ベーキングに耐える耐熱仕様のユニットが必要
・極力アウトガスを出さない位置決めテーブルが希望
・位置決め精度や姿勢（ピッチングやヨーイング）精度も重要
などの声をいただき、現在の形になりました。
MTシリーズ
高真空（１×１０－５Ｐａ程度）対応！
●耐熱１６０℃の真空対応ステッピングモータを採用しています。
●真空対応フォトセンサを内蔵！
●真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択します。
コンパクト＆高剛性
●手のひらサイズの超小型ボディです。
●高剛性ガイドを採用し安定した動きを保証します。
バリエーションも充実
●多軸に組み合わせ可能なブラケット等オプションも用意しています。
●真空中での使用だけでなく、放出ガスを嫌う大気中での使用にも適した低放出ガス対応モデルやクリーン対応品も有ります。
●光学式エンコーダを搭載したモデルでより高精度な位置決めも可能です。
直動ストロークは、１０、２０、３０ｍｍ 回転ストロークは、３６０°
PTシリーズ
テーブルサイズ１００×１００ｍｍで全高２５ｍｍの薄型１軸位置決めテーブル。
高真空（１×１０－５Ｐａ程度）対応！
●耐熱１６０℃の真空対応ステッピングモータを採用しています。
●真空対応フォトセンサを採用しています。
●真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択します。
全高２５ｍｍの薄さ！
●狭く限られた場所でも使用できます。
●並べて配置など複数配置にも最適です。水平置きだけでなく、縦置きも可能です。標準ストロークは１００ｍｍ、
その他に１５０ｍｍ、２００ｍｍ、２５０ｍｍ、３００ｍｍがあります。
VTシリーズ
市販性の高いステージ形状！
ＶＴシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズバリエーションです。単軸だけでなく２軸（ＸＹ）や３軸（ＸＹＺ）の組合せも有ります。
例えば、御社既存の大気仕様装置を設計変更をすることなく低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。
製品を用いた真空対応システムの構成例
非磁性対応・超音波モーター搭載製品
駆動系に超音波モーターを採用したアプリケーションです。非磁性環境や強磁性環境で活躍します。
特長：
●真空（１×１０－５ Ｐａ 程度）対応
●非磁性（磁場変動量ｎＴオーダー）対応
用途：
●磁場の影響を受ける環境下の駆動源として
●停電時の安全対策としてワークをその場で保持したい etc.
資料をご希望の方はお問合せフォームよりご連絡ください。
直動式ＵＳＭ駆動ユニット
駆動源に定在波型超音波モーターを採用したユニットです。軸方向に直交して配置しダイレクトにテーブルを動作させます。
回転式ＵＳＭ駆動ユニット
駆動源に進行波型超音波モーター（回転式）を採用したユニットです。先端軸は回転しないで出入します。
真空・非磁性対応（超音波モータ搭載）品 について
評価事業・コンサルティング
常温または加熱中の真空内での放出ガス・磁性の有無などを定量的に計測。お客様からお預かりした測定対象物に対して物性評価を実施し、報告書や見解書を作成いたします。
放出ガス量算出、成分の分析といった放出ガス評価は自社の製品に限らず、お客様がご用意または指定したサンプルを評価することにも対応しています。（評価報告書作成・提出）
◆今まで把握出来ていなかった放出ガスデータを収集 → 改良を検討
◆大気仕様品を真空対応品に改造したり商品化したり
◆仕様と評価結果を照合し材料選定などオーバースペックになっていたものを適切に変更、納期短縮やコストダウンに役立てたいなど真空評価に関するご相談を承っています。
放出ガス評価
真空中評価：ビルドアップ法を採用
単にサンプルをチャンバーに入れて真空排気しその到達真空度をみるといったものではありません。サンプルそのものから放出されるガスの量を算出します。これにより、実際に使用される対象物の数量や表面積、使用される容器の容量や排気能力などを考慮し、所望の到達真空度や到達時間が達成出来るか？を推測する目安となります。
質量分析
真空中評価：四重極質量分析計
放出ガス量算出とともに質量分析を行ないガス成分の検出すること可能です。真空環境を必要とする装置には放出ガスの量だけではなくその成分が問題になる場合があります。放出ガス量算出とともに質量分析を行ない、その成分の把握、問題があればその解決策を施し比較評価します。
磁場測定評価
地磁気の影響を受けにくい磁気シールドで囲まれた空間の中で測定対象物による磁場変動量を算出します。
測定子からの距離を変化させＸＹＺ方向各々の磁界の強さ（Ｈ）の変動を測定、磁束密度（Ｂ）に換算します。
最小変動量５ｎＴ程度の磁性レベルも測定可能です。
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